Evaluation of Alternative Atomistic Models for the Incipient Growth of ZnO by Atomic Layer Deposition
Manh-Hung Chu
(1)
,
Liang Tian
(2)
,
Ahmad Chaker
(2)
,
Evgenii Skopin
(2)
,
Valentina Cantelli
(2)
,
Toufik Ouled
,
Raphael Boichot
(3)
,
Alexandre Crisci
(4)
,
Sabine Lay
(4)
,
Marie-Ingrid Richard
(5)
,
Olivier Thomas
(5)
,
Jean-Luc Deschanvres
(2)
,
Hubert Renevier
(2)
,
Dillon Fong
,
Gianluca Ciatto
(6)
1
ESRF -
European Synchrotron Radiation Facility
2 LMGP - Laboratoire des matériaux et du génie physique
3 Grenoble INP - Institut polytechnique de Grenoble - Grenoble Institute of Technology
4 SIMaP - Science et Ingénierie des Matériaux et Procédés
5 IM2NP - Institut des Matériaux, de Microélectronique et des Nanosciences de Provence
6 SSOLEIL - Synchrotron SOLEIL
2 LMGP - Laboratoire des matériaux et du génie physique
3 Grenoble INP - Institut polytechnique de Grenoble - Grenoble Institute of Technology
4 SIMaP - Science et Ingénierie des Matériaux et Procédés
5 IM2NP - Institut des Matériaux, de Microélectronique et des Nanosciences de Provence
6 SSOLEIL - Synchrotron SOLEIL
Ahmad Chaker
- Fonction : Auteur
- PersonId : 780398
- ORCID : 0000-0001-6881-1270
Toufik Ouled
- Fonction : Auteur
Sabine Lay
- Fonction : Auteur
- PersonId : 739161
- IdHAL : sabine-lay
Marie-Ingrid Richard
- Fonction : Auteur
- PersonId : 736272
- IdHAL : marie-ingrid-richard
- ORCID : 0000-0002-8172-3141
- IdRef : 130070289
Olivier Thomas
- Fonction : Auteur
- PersonId : 755890
- ORCID : 0000-0002-5708-1409
- IdRef : 067826571
Jean-Luc Deschanvres
- Fonction : Auteur
- PersonId : 1085821
- IdHAL : jean-luc-deschanvres
- ORCID : 0000-0003-4668-8501
Hubert Renevier
- Fonction : Auteur
- PersonId : 1087904
- IdHAL : hubert-renevier
- ORCID : 0000-0002-2317-9344
- IdRef : 061278920
Dillon Fong
- Fonction : Auteur