Article Dans Une Revue
Microelectronic Engineering
Année : 2014
Alain Portavoce : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://amu.hal.science/hal-02385332
Soumis le : jeudi 28 novembre 2019-17:20:20
Dernière modification le : mardi 5 décembre 2023-18:08:07
Citer
D. Mangelinck, F. Panciera, K. Hoummada, M. El Kousseifi, C. Perrin, et al.. Atom probe tomography for advanced metallization. Microelectronic Engineering, 2014, 120, pp.19-33. ⟨10.1016/j.mee.2013.12.018⟩. ⟨hal-02385332⟩
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