Article Dans Une Revue
International Journal of Infrared and Millimeter Waves
Année : 1997
Philippe Torchio : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://amu.hal.science/hal-01757688
Soumis le : mardi 3 avril 2018-19:22:48
Dernière modification le : lundi 10 juin 2024-16:58:03
Citer
Philippe Torchio, Roland Occelli. Detection and mapping of oxygen in silicon wafers by scanning infrared absorption. International Journal of Infrared and Millimeter Waves, 1997, 18 (2), pp.491 - 499. ⟨10.1007/BF02677935⟩. ⟨hal-01757688⟩
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